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化學(xué)氣相沉積

簡(jiǎn)要描述：迷你智能型等離子體可回轉化學(xué)氣相沉積系統
本款設備可以做金屬復合石墨烯材料，是目前*的金屬復合材料制備設備?？梢杂糜趧?dòng)力電池，提升電池內阻和能量密度，有效解決新能源汽車(chē)電池的問(wèn)題。

  • 產(chǎn)品型號：BTF-1200C-R-S-PECVD
  • 廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間：2021-10-14
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量：5118

詳細介紹

品牌貝意克價(jià)格區間面議
儀器種類(lèi)回轉爐產(chǎn)地類(lèi)別國產(chǎn)
應用領(lǐng)域環(huán)保,化工,能源,電子

迷你智能型等離子體可回轉化學(xué)氣相沉積系統

1.該設備爐管可360度旋轉，管內壁有石英擋片幫助粉料翻轉有助于燒結得更均勻；

2.該款設備是全自動(dòng)Plasma增強CVD系統（PECVD）,系統可以實(shí)現連續滑動(dòng)溫區，連續可控溫度以及Plasma強度等，配備真空系統，可以實(shí)現低壓條件下的實(shí)驗，針對低溫石墨烯、碳納米管生長(cháng)等。PECVD系統能使整個(gè)實(shí)驗腔體都處于輝光產(chǎn)生區，輝光均勻等效，這種技術(shù)很好的解決了傳統等離子工作不穩定狀態(tài)，這樣離子化的范圍和強度是傳統PECVD的百倍，并解決了物料不均勻堆積現象。

化學(xué)氣相沉積的技術(shù)參數：

型號

BTF-1200C-S-R-PECVD

顯示模式

7"液晶觸屏顯示

最高溫度

1200℃

升溫速率

10℃/S

加熱區長(cháng)度 230mm

控溫精度

±1℃

加熱元件

電阻絲

熱電偶

K型

控溫方式

7"液晶觸屏與工控儀表雙重控溫，模糊PID控制和自整定調節，人工智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能。

爐管尺寸

Φ25*800mm

爐管轉速

3~13r/min

傾斜角度

0~35°

加熱功率

3KW

射頻功率輸出范圍

0~500W

供氣系統

標配三路質(zhì)量流量計（50/100/200sccm）

供電電源

220V50Hz

通訊接口

USB

外形尺寸

1600mm*650mm*1400mm

設備凈重

約220KG



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