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BTF-1200C-R-PECVD等離子體增強回轉PECVD系統
1600℃ 1.5L 高溫箱式爐 MF-1600C-S
1600℃ 3.4L 高溫箱式爐(MF-1600C-I)
1600℃ 12L 高溫箱式爐(MF-1600C-II)
BTF-1200C-S-SL-PECVD滑軌式PECVD
BTF-1200C-SL-PECVD單溫區滑軌式簡(jiǎn)易版PECVD系統
BTF-1200C-II-PECVDCVD系統
雙爐滑軌式簡(jiǎn)易版PECVD
前端預熱滑軌式簡(jiǎn)易版PECVD
PECVD PECVD-III-500A-SSSL三獨立智能型滑軌
前端預熱PECVD
雙溫區PECVD(智能型)

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